准分子灯
产品介绍
光谱:17nm波长
准分子灯应用:
波长为172nm的准分子真空紫外光子能量高达7.2 eV,足以打开大多数分子键,能实现传统低压汞灯很难或根本不能实现的光化学反应,可广泛应用于:
表面清洗。可用于晶圆和平板显示器制造的清洗过程,清洗掩摸,去除光刻胶;
表面刻蚀和改性(如聚酰亚胺,氟材料等)。
低温光化学气相沉积(Photo-CVD)。如电子薄膜Ta2O5和HfO2等;
光氧化,光退火。如对电子薄膜SiO2进行处理以改善其化学计量性;
室温下光催化金属化。如在塑料表面镀金属电极;
表面活化,以增加表面张力和湿润性;
有机降解。除总有机碳(TOC)制取超纯水,分解农药残留,印染废水的光化学脱色;
高纯臭氧发生。