准分子灯

产品介绍

光谱：17nm波长

准分子灯应用：

波长为172nm的准分子真空紫外光子能量高达7.2 eV，足以打开大多数分子键，能实现传统低压汞灯很难或根本不能实现的光化学反应，可广泛应用于：

表面清洗。可用于晶圆和平板显示器制造的清洗过程，清洗掩摸，去除光刻胶；

表面刻蚀和改性（如聚酰亚胺，氟材料等）。

低温光化学气相沉积(Photo-CVD)。如电子薄膜Ta2O5和HfO2等；

光氧化，光退火。如对电子薄膜SiO2进行处理以改善其化学计量性；

室温下光催化金属化。如在塑料表面镀金属电极；

表面活化，以增加表面张力和湿润性；

有机降解。除总有机碳（TOC）制取超纯水，分解农药残留，印染废水的光化学脱色；

高纯臭氧发生。